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气体纯度和等级的划分

日期:2018-02-02 13:02

  气体纯度的表示方法:

1、用百分数表示,如99%,99.5%,99.9%,99.99%,99.999%,99.9999%,99.99999%等。

2、用“N”表示,如3N,5N,4.8N,5.5N,6N,7N等,N数目与(1)中的“9”的个数相对应,小数点后的数表示不足“9”的数。如4N(99.99%)、6N(99.9999%)、,7N(99.99999%)、,4.8N(99.998%)、5.5N(99.9995%)等。

杂质含量分为常量、微量和痕量,对于微量和痕量杂质一般指ppm~ppb范围。杂质浓度:1ppm=10-4%1ppb=10-7%1ppt=10-10%。

根据气体纯度的不同,通常又将气体纯度分为四级,即普通气体、纯气体、高纯气体和超高纯气体,下表给出气体纯度等级和电子器件生产工艺上的应用。


气体等级纯度要求电子器件生产工艺上的应用
普通气体<99.99%一般器件
纯气体99.99~<99.999%晶体管和晶闸管等
高纯气体99.999~<99.9999%大规模集成电路和特殊器件等
超纯气体≥99.9999%超大规模集成电路和特大规模集成电路等


产品分类
高纯气体标准气体消防气瓶检测气体灭火剂低温液化气体工业气体
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